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【惠丰润滑油提供:油扩散泵的常见故障及原因】 由于真空设备长期运转及其它一些因素的影响,扩散泵的性能可能会逐渐变坏,现将使用中经常出现的一些问题如述如下; 1) 极限真空变低 原因: a.系统中有渗漏; b.系统太脏; c.泵油污染; d.加热功率不够; e.冷却水不足; f.过量或过冷的冷却水; g.前级压力高;检查密封性能及前级管道是否有泄漏现象; h.快冷管内有水。 2) 抽气较慢 原因: a.加热功率低; b.油量不足; c.喷帽安装位置不当或受损。 3) 进口压力波动 原因: a.加热器输入功率不当; b.油脱气; c.扩散泵进口前面系统有渗漏。 4) 工作腔污染大 原因: a.前级压力高; b.在高于10-1Pa压力下长期工作; c.系统操作有误。 5) 返油率过大: 原因: a. 顶喷嘴帽松动,间隙过大; b. 加热功率不对
【惠丰润滑油提供:油扩散泵的常见故障及原因】
由于真空设备长期运转及其它一些因素的影响,扩散泵的性能可能会逐渐变坏,现将使用中经常出现的一些问题如述如下;
1) 极限真空变低 原因: a.系统中有渗漏; b.系统太脏; c.泵油污染; d.加热功率不够; e.冷却水不足; f.过量或过冷的冷却水; g.前级压力高;检查密封性能及前级管道是否有泄漏现象; h.快冷管内有水。
2) 抽气较慢 原因: a.加热功率低; b.油量不足; c.喷帽安装位置不当或受损。
3) 进口压力波动 原因: a.加热器输入功率不当; b.油脱气; c.扩散泵进口前面系统有渗漏。
4) 工作腔污染大 原因: a.前级压力高; b.在高于10-1Pa压力下长期工作; c.系统操作有误。
5) 返油率过大: 原因: a. 顶喷嘴帽松动,间隙过大; b. 加热功率不对